白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域精度最高的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。

 

　　原理：

　　它是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長（～10-7米），所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所不能相比的。

 

　　白光干涉儀與臺(tái)階儀相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

　　1、是非接觸高精密測量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；

　　2、是測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量；

　　3、是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置；

　　4、是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。隨著白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展和完善，白光干涉測量儀器已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。